簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "化學工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="氮化鉭"


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    TaNx薄膜之材料與擴散阻障分析
    • /97/ 碩士
    • 研究生: 邱鴻錡 指導教授: 李嘉平 郭俞麟
    • 以RF濺鍍來成長TaNx薄膜並觀察N2/Ar流量比對TaNx薄膜之沈積速率、N/Ta原子比、電阻率及結晶結構之影響。實驗結果顯示TaNx薄膜的沈積速率會隨著N2/Ar流量比的增加而下降;TaNx薄膜…
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